21世界,产业的发展,加速了产业结构的变革,无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化,尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害,导致品质低下。伴随商品的高品质要求,环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素。东莞无尘室方案
洁净室的主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。珠海100000级无尘室装修空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。
层流式洁净室:层流式空气气流运动成一均匀直线形,空气过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需求较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种: (1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下 流侧污染较严重。 优点:构造简单,运转后短时间内即可达到要求,稳定运转。 缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。 (2)垂直层流式:空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。 优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。 缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
万级无尘室等级标准如下:1.尘粒比较大允许数(每立方米);2.大或等于,大或等于5微米的粒子数不得超过2000个;3.微生物比较大允许数;4.浮游菌数不得超过100个每立方米;5.沉隆菌数不得超过3个每培养皿。6.压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。7.万级洁净室对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,8.温度一般控制在冬季20~22℃;夏季24~26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。9.配电:洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。10.噪声控制一、动态测试时,万级洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。二、静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A。 无尘室对我们有什么用?
简易无尘室和无尘车间定义有何不同?
简易无尘室是指在无尘车间内用防静电网格帘或有机玻璃围一个小空间,上方采用HEPA及FFU送风单元组成一相对无尘车间较高净化级别的空间,简易无尘室可配风淋室、传递窗等净化设备。
无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘车间主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,这样的一个空间我们一净称之为无尘车间。
无尘室空气洁净的原理与解析;清远10000级无尘室安装
无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级;东莞无尘室方案
主要的无尘室设备包括风机过滤网装置、风淋室及传递箱。风机过滤网装置共同形成一个净化无尘室室内空气的特别的逻辑控制风扇系统。风淋室旨在于物体进入无尘室之前,透过高压及大流量空气将该物体吹洗及冲洗乾净。传递箱旨在透过互锁装置在无尘室和非无尘室的环境之间传递产品。这些设备均是旨在避免运作中的无尘室设施免受污染及干扰的设备。
无尘室的主要终端用户行业为半导体、电子、医药、医院及医疗保健等,其中半导体行业以及医药及医疗保健行业为无尘室设施市场的主要驱动力。 东莞无尘室方案
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